Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием / Е. С. Осипова, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ = Influence of nitrogen flow on properties of CrAlN coatings obtained by magnetron sputtering with plasma assisted

Set Level: Перспективы развития фундаментальных наук, Prospects of Fundamental Sciences Development, сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. = 2023Курзина, И. А. (химик ; 1972-), Томск, Изд-во ТПУMain Author: Осипова, Е. С. Coauthor: Сиделёв, Д. В., физик, инженер кафедры Томского политехнического университета, 1991-, Дмитрий ВладимировичSecondary Author: Сиделёв, Д. В., физик, инженер кафедры Томского политехнического университета, 1991-, Дмитрий ВладимировичCorporate Author (Secondary): Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа ядерных технологий, Отделение экспериментальной физикиLanguage: русский.Country: Россия.Abstract: The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN .Bibliography: Библиография: с. 293.Subject: труды учёных ТПУ | электронный ресурс | микротвёрдость | термостойкость | защитные покрытия | скорость осаждения | реактивные газы | магнетронное распыление | аргон | азот | плазменный генератор Online Resources:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80820
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
No physical items for this record

Заглавие с экрана

Библиография: с. 293

The article describes influence of flow rate of reactive gas (nitrogen) on deposition rate of CrAlN coatings and its structural properties in the case of magnetron sputtering of "hot" Cr and Al targets using a radio-frequency plasma source (RF-ICP). It is shown that the increase in the flow rate of nitrogen leads to the increase in hardness of deposited coatings due to formation of the nitride phases of CrN and AlN



Текстовый файл

There are no comments on this title.

to post a comment.