Ионное травление микроструктур / Б. С. Данилин, В. Ю. Киреев
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Радио, 1979Description: 103 с. : ил.Series: Массовая библиотека инженера "Электроника", вып. 21Bibliography: Библиогр.: с. 95-102.Subject: микроэлектронные схемы | интегральные схемы | производство | микроструктуры | газы | ионное травление | откачка | системы | дефекты| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 80-1954 | Available | 13821000532381 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 80-405 | Available | |||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.38 Д182 | Available | 13821000321054 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 95-102
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.