Вакуумная техника в производстве интегральных схем / Б. С. Данилин
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Энергия, 1972Description: 256 с. : ил.Bibliography: Библиогр.: с. 245-254.Subject: вакуумная техника | интегральные схемы | пленки тонкие | получение | применение | микроэлектронные схемы | производство | термическое осаждение| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 539 Д182 | Available | 13821000326775 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | М-98428 | Available | 13821000531940 |
Total holds: 0
Загл. указано на пер.
Библиогр.: с. 245-254
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.