Библиогр. в конце глав.

Книга посвящена физическим основам микросистем - новому направлению техники, которое интенсивно развивается в последние два десятилетия. В данном томе рассмотрены главным образом сенсоры давления и актюаторы с электростатическим управлением, что обусловлено широтой их практического применения. Предлагаемая книга ориентирована на лиц, специализирующихся в создании микросистемной техники, для которых важно количественное описание и наличие эффективных численных моделей. Учебное пособие может быть полезно студентам старших курсов, обучающимся по специальностям «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и «Микросистемная техника», а также аспирантам, инженерам и научным работникам.