Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев, С. Ю. Ширяев

Coauthor: Комаров, Ф. Ф., Фадей Фадеевич;Новиков, А. П., Александр Петрович;Соловьев, В. С., Валерий Сергеевич;Ширяев, С. Ю., Сергей ЮрьевичLanguage: русский.Country: Белоруссия.Publication: Минск : Университетское, 1990Description: 320 с. : ил.ISBN: 5785501929.Bibliography: Библиогр.: с. 293-318.Subject - Topical Name: Кремний -- Кристаллическая структура Subject: дефекты | легирование | твердые тела | ионы | торможение | отжиг | ионные пучки
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд 90-7498 Available 13821000186505
Total holds: 0

Библиогр.: с. 293-318

There are no comments on this title.

to post a comment.