Дефекты структуры в ионно-имплантированном кремнии / Ф. Ф. Комаров, А. П. Новиков, В. С. Соловьев, С. Ю. Ширяев

Coauthor: Комаров, Ф. Ф., Фадей Фадеевич;Новиков, А. П., Александр Петрович;Соловьев, В. С., Валерий Сергеевич;Ширяев, С. Ю., Сергей ЮрьевичLanguage: русский.Country: Беларусь.Publication: Минск : Университетское, 1990Description: 320 с. : ил.ISBN: 5785501929.Bibliography: Библиогр.: с. 293-318.Subject - Topical Name: Кремний -- Кристаллическая структура Subject: дефекты | легирование | твердые тела | ионы | торможение | отжиг | ионные пучки
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Cover image Item type Current library Home library Collection Shelving location Call number Materials specified Vol info URL Copy number Status Notes Date due Barcode Item holds Item hold queue priority Course reserves
Books НТБ ТПУ Научный фонд 90-7498 Available 13821000186505
Total holds: 0

Библиогр.: с. 293-318

There are no comments on this title.

to post a comment.