Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала [Электронный ресурс] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук.: С. В. Смирнов

Main Author: Чистоедова, И. А., Инна АнатольевнаSecondary Author: Смирнов, С. В., Серафим ВсеволодовичCorporate Author (Secondary): Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроникиLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Томск : 2005Description: 1 файл (414 Kb)Classification: 05.17.11Subject: химическая технология | тантал | тонкие пленки | получение | структура | свойства | оборудование | исследования | ионно-плазменное распыление | соединения тантала | модификация | авторефераты диссертаций | электронный ресурс | труды учёных ТПУ Online Resources:Click here to access online
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
No physical items for this record

Заглавие с титульного экрана

Электронная версия печатной публикации

Adobe Reader

There are no comments on this title.

to post a comment.