Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем / И. Р. Арсланов, Д. А. Володин, В. Г. Подковыров
Set Level: Современные техника и технологии - СТТ' 2002, труды VIII международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, Томск, 8-12 апреля 2002 г. / Томский политехнический университет = 2002-Language: русский.Country: Россия.Bibliography: Библиогр.: 4 назв..Subject: распылительные системы | магнетронные системы | дугогашение | вакуумно-плазменная технология | покрытия | реактивное распыление | дугообразование | труды учёных ТПУNo physical items for this record
Библиогр.: 4 назв.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.