Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : Спец. 05.17.11 / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук. С. В. Смирнов

Main Author: Чистоедова, И. А., Инна АнатольевнаSecondary Author: Смирнов, С. В., Серафим ВсеволодовичCorporate Author (Secondary): Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроникиLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Томск : [Б. и.], 2005Description: 178 л. : ил.Classification: 05.17.11Bibliography: Библиогр.: с. 166-178 (133 назв.).Subject: химическая технология | тантал | тонкие пленки | получение | структура | свойства | оборудование | исследования | методология | ионно-плазменное распыление | соединения тантала | модификация | диссертации
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Cover image Item type Current library Home library Collection Shelving location Call number Materials specified Vol info URL Copy number Status Notes Date due Barcode Item holds Item hold queue priority Course reserves
Books НТБ ТПУ Научный фонд Р-6318 Available 13821000214619
Total holds: 0

Библиогр.: с. 166-178 (133 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.