Полифункциональные тонкие пленки неметаллических соединений тантала : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : Спец. 05.17.11 / И. А. Чистоедова ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники; науч. рук. С. В. Смирнов

Main Author: Чистоедова, И. А., Инна АнатольевнаSecondary Author: Смирнов, С. В., Серафим ВсеволодовичCorporate Author (Secondary): Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроникиLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Томск : [Б. и.], 2005Description: 178 л. : ил.Classification: 05.17.11Bibliography: Библиогр.: с. 166-178 (133 назв.).Subject: химическая технология | тантал | тонкие пленки | получение | структура | свойства | оборудование | исследования | методология | ионно-плазменное распыление | соединения тантала | модификация | диссертации
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд Р-6318 Available 13821000214619
Total holds: 0

Библиогр.: с. 166-178 (133 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.