Быстрые термообработки в технологии СБИС / В. А. Пилипенко
Language: русский.Country: Белоруссия.Publication: Минск : Изд-во Белорусского ГУ, 2004Description: 531 с. : ил.ISBN: 9854762513.Series: Грант БрФФИBibliography: Библиография в конце глав.; Список сокращений: с. 528.Subject: электроника | СБИС | сверхбольшие интегральные схемы | кремниевые пластины | нагрев | световые импульсы | быстрая термообработка | быстродиффундирующие примеси | лазерное геттерирование | кремний | ионно-легированные слои | отжиг | субмикронные пленки | получение | диэлектрические пленки | алюминий | применение | биполярные СБИС | элементная база | параметры | оборудование| Item type | Current library | Call number | Status | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 05-364 | Available | 13821000184843 |
Total holds: 0
Библиография в конце глав.
Список сокращений: с. 528
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.