Фотолитография и оптика / Н. И. Белов, О. Вайбрехт, В. В. Волцит, Г. Грюнвальд и др. ; под ред. Я. А. Федотова, Г. Поля

Coauthor: Белов, Н. И., Николай Иванович;Вайбрехт, О., Отто;Волцит, В. В., Вильгельмина Виллиевна;Грюнвальд, Г., ГенрихSecondary Author: Федотов, Я. А., Яков Андреевич;Поль, Г., ГансLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Берлин : Советское радио, Техника, 1974Description: 392 с. : ил.Bibliography: Библиография в конце глав..Subject: фотолитография | оптика | полупроводниковые приборы | производство | микроэлектроника | микросхемы | печатные схемы
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Date due Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд М-121898 Checked out 08.10.2025 13821000863838
Books НТБ ТПУ Учебный фонд 621.315 Ф815 Available 13821000208833
Total holds: 0

Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР

Библиография в конце глав.

There are no comments on this title.

to post a comment.