Фотолитография и оптика / Н. И. Белов, О. Вайбрехт, В. В. Волцит, Г. Грюнвальд и др. ; под ред. Я. А. Федотова, Г. Поля
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Берлин : Советское радио, Техника, 1974Description: 392 с. : ил.Bibliography: Библиография в конце глав..Subject: фотолитография | оптика | полупроводниковые приборы | производство | микроэлектроника | микросхемы | печатные схемы| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | М-121898 | Checked out | 08.10.2025 | 13821000863838 | |||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.315 Ф815 | Available | 13821000208833 |
Total holds: 0
Книга написана совместно специалистами СССР и специалистами народного предприятия "Карл Цейсс Йена" ГДР
Библиография в конце глав.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.