Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис

Main Author: Березин, Г. Н., Геннадий НиколаевичCoauthor: Никитин, А. В., Аркадий Викторович;Сурис, Р. А., Роберт АрнольдовичLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Радио и связь, 1982Description: 103 с. : ил.Series: Массовая радиобиблиотека. Электроника, Вып. 33Bibliography: Библиогр.: с. 98-101..Subject: фотолитография | теория Френеля-Кирхгофа | дифракционные искажения | контактная печать | электронная техника
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд 83-5139 Available 13821000780556
Books НТБ ТПУ Учебный фонд 621.38 Б484 Available 13821000013529
Total holds: 0

Библиогр.: с. 98-101.

There are no comments on this title.

to post a comment.