Оптические основы контактной фотолитографии / Г. Н. Березин, А. В. Никитин, Р. А. Сурис
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Радио и связь, 1982Description: 103 с. : ил.Series: Массовая радиобиблиотека. Электроника, Вып. 33Bibliography: Библиогр.: с. 98-101..Subject: фотолитография | теория Френеля-Кирхгофа | дифракционные искажения | контактная печать | электронная техника| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 83-5139 | Available | 13821000780556 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.38 Б484 | Available | 13821000013529 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 98-101.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.