Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Энергоатомиздат, 1989Description: 328 с. : ил.ISBN: 5283039390.Bibliography: Библиогр.: с. 316-324..Subject: тонкопленочные технологии | применение | тонкие пленки | низкотемпературная плазма | осаждение тонких пленок | травление| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 89-5465 | Available | 13821000105473 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 89-3894 | Available | 13821000223579 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 316-324.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.