Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок / Б. С. Данилин

Main Author: Данилин, Б. С., Борис СтепановичLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Энергоатомиздат, 1989Description: 328 с. : ил.ISBN: 5283039390.Bibliography: Библиогр.: с. 316-324..Subject: тонкопленочные технологии | применение | тонкие пленки | низкотемпературная плазма | осаждение тонких пленок | травление
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд 89-5465 Available 13821000105473
Books НТБ ТПУ Научный фонд 89-3894 Available 13821000223579
Total holds: 0

Библиогр.: с. 316-324.

There are no comments on this title.

to post a comment.