Физические основы микротехнологии : пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей

Main Author: Броудай, И., ИворCoauthor: Мерей, Дж., ДжулиусLanguage: русский ; of original work, английский.Country: Россия.Publication: Москва : Мир, 1985Description: 496 с. : ил.Bibliography: Библиогр.: с. 465-483; Предметный указатель: с. 484-492.Subject: микроэлектронные схемы | микротехнологии | физические основы | производство | частицы | тонкие пленки | литография | микроскопия | микрозонды
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд 85-3734 Available 13821000733950
Books НТБ ТПУ Учебный фонд 621.382 Б888 Available 13821000013573
Books НТБ ТПУ Научный фонд 85-3411 Available 13821000719518
Books НТБ ТПУ Учебный фонд 621.382 Б888 Available 13821000013603
Total holds: 0

Библиогр.: с. 465-483

Предметный указатель: с. 484-492

There are no comments on this title.

to post a comment.