Физические основы микротехнологии : пер. с англ. / И. Броудай, Дж. Мерей
Language: русский ; of original work, английский.Country: Россия.Publication: Москва : Мир, 1985Description: 496 с. : ил.Bibliography: Библиогр.: с. 465-483; Предметный указатель: с. 484-492.Subject: микроэлектронные схемы | микротехнологии | физические основы | производство | частицы | тонкие пленки | литография | микроскопия | микрозонды| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 85-3734 | Available | 13821000733950 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.382 Б888 | Available | 13821000013573 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 85-3411 | Available | 13821000719518 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.382 Б888 | Available | 13821000013603 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 465-483
Предметный указатель: с. 484-492
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.