Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда [Электронный ресурс] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч.рук.: В. И. Струнин

Main Author: Худайбергенов, Г. Ж., Гамзат ЖапаровичSecondary Author: Струнин, В. И., Владимир ИвановичCorporate Author (Secondary): Омский государственный университетLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Омск : [Б. и.], 2003Description: 1 файл (503 Kb)Classification: 01.04.08Subject: физика | аморфный кремний | гидрогенизированный кремний | тонкие пленки | осаждение | газовые разряды | аргон-силановая плазма | электроны | распределение | ВЧЕ разряды | химический состав | моделирование | авторефераты диссертаций | электронный ресурс Online Resources:Click here to access online
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
No physical items for this record

Заглавие с титульного экрана

Электронная версия печатной публикации

Adobe Reader

There are no comments on this title.

to post a comment.