Моделирование аргон- силановой плазмы ВЧЕ разряда : диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : Спец. 01.04.08 / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч. рук. В. И. Струнин

Main Author: Худайбергенов, Г. Ж., Гамзат ЖапаровичSecondary Author: Струнин, В. И., Владимир ИвановичCorporate Author (Secondary): Омский государственный университетLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Омск : 2003Description: 154 л. : ил.Classification: 01.04.08Bibliography: Библиогр.: с. 139-154 (152 назв.).Subject: физика | аморфный кремний | гидрогенизированный кремний | тонкие пленки | осаждение | газовые разряды | аргон-силановая плазма | электроны | распределение | ВЧЕ разряды | химический состав | моделирование | диссертации
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Cover image Item type Current library Home library Collection Shelving location Call number Materials specified Vol info URL Copy number Status Notes Date due Barcode Item holds Item hold queue priority Course reserves
Books НТБ ТПУ Научный фонд Р-6260 Available 13821000101779
Total holds: 0

Библиогр.: с. 139-154 (152 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.