Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : Спец. 01.04.08 / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч. рук. В. И. Струнин

Main Author: Худайбергенов, Г. Ж., Гамзат ЖапаровичSecondary Author: Струнин, В. И., Владимир ИвановичCorporate Author (Secondary): Омский государственный университетLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Омск : [Б. и.], 2003Description: 24 с. : ил.Classification: 01.04.08Bibliography: Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.); Список цитируемой литературы: с. 24 (6 назв.).Subject: физика | аморфный кремний | гидрогенизированный кремний | тонкие пленки | осаждение | газовые разряды | аргон-силановая плазма | электроны | распределение | ВЧЕ разряды | химический состав | моделирование | авторефераты диссертаций
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Cover image Item type Current library Home library Collection Shelving location Call number Materials specified Vol info URL Copy number Status Notes Date due Barcode Item holds Item hold queue priority Course reserves
Books НТБ ТПУ Научный фонд 04-110 Available 13821000101784
Total holds: 0

Защита сост. 29.12.2003 г.

Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.)

Список цитируемой литературы: с. 24 (6 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.