Моделирование аргон-силановой плазмы ВЧЕ разряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : Спец. 01.04.08 / Г. Ж. Худайбергенов ; Омский государственный университет; науч. рук. В. И. Струнин

Main Author: Худайбергенов, Г. Ж., Гамзат ЖапаровичSecondary Author: Струнин, В. И., Владимир ИвановичCorporate Author (Secondary): Омский государственный университетLanguage: русский.Country: Россия.Publication: Омск : [Б. и.], 2003Description: 24 с. : ил.Classification: 01.04.08Bibliography: Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.); Список цитируемой литературы: с. 24 (6 назв.).Subject: физика | аморфный кремний | гидрогенизированный кремний | тонкие пленки | осаждение | газовые разряды | аргон-силановая плазма | электроны | распределение | ВЧЕ разряды | химический состав | моделирование | авторефераты диссертаций
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Item type Current library Call number Status Barcode
Books НТБ ТПУ Научный фонд 04-110 Available 13821000101784
Total holds: 0

Защита сост. 29.12.2003 г.

Библиогр.: с. 22-23 (13 назв.)

Список цитируемой литературы: с. 24 (6 назв.)

There are no comments on this title.

to post a comment.