Получение тонкопленочных элементов микросхем / Б. С. Данилин
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Энергия, 1977Description: 136 с. : ил.Series: Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры, Вып. 10Bibliography: Библиогр.: с. 128-134..Subject: микросхемы | тонкопленочные элементы | получение | вакуумные методы | испарение | ионная бомбардировка | аппаратура | конденсация | распыления | радиоэлектроника| Item type | Current library | Call number | Status | Barcode | |
|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 77-3087 | Available | 13821000109421 | |
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 77-3086 | Available | ||
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 621.38 Д182 | Available | 13821000089891 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 128-134.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.