Технологический источник "Радуга-5" для ионной имплантации, плазменного осаждения покрытий и комбинированной ионно-плазменной обработки материалов / А. И. Рябчиков, С. В. Дектярев

Main Author: Рябчиков, А. И., физик, профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук, 1950-, Александр ИльичCoauthor: Дектярев, С. В., физик, инженер-проектировщик Томского политехнического университета, 1957-, Сергей ВалентиновичLanguage: русский.Country: Россия.Bibliography: Библиогр.: 5 назв..Subject: труды учёных ТПУ
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
No physical items for this record

Библиогр.: 5 назв.

There are no comments on this title.

to post a comment.