Оптико-электронные методы автоматизированного контроля топологии изделий микроэлектроники / Е. К. Чехович ; АН Белорусской ССР. Институт электроники

Main Author: Чехович, Е. К., Евгений КазимировичCorporate Author (Secondary): Академия наук Белорусской ССР (АН БССР), Институт электроникиLanguage: русский.Country: Белоруссия.Publication: Минск : Наука и техника, 1989Description: 213 с. : ил.ISBN: 5343000878.Bibliography: Библиогр.: с. 200-211..Subject: оптико-электронные приборы | микроэлектроника | контроль | погрешности | измерительная техника | АСУ
Tags from this library: No tags from this library for this title. Log in to add tags.
Star ratings
    Average rating: 0.0 (0 votes)
Holdings
Cover image Item type Current library Home library Collection Shelving location Call number Materials specified Vol info URL Copy number Status Notes Date due Barcode Item holds Item hold queue priority Course reserves
Books НТБ ТПУ Научный фонд 89-4804 Available 13821000085044
Total holds: 0

Библиогр.: с. 200-211.

There are no comments on this title.

to post a comment.