Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук: : Спец. 05.11.13 / Т. И. Хаханина ; Московский государственный институт электронной техники; Томский политехнический университет; Научн. конс.: В. И. Каракеян
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : [Б. и.], 2002Description: 56 с. : ил.Classification: 05.11.13Bibliography: Библиогр.: с. 47-56 (71 назв.).Subject: полупроводники | поверхности | очистка | безотходные технологии | высокочистые вещества | контроль | авторефераты диссертаций| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | С-20203 | Available (доступ ограничен) | 13821000065034 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 47-56 (71 назв.)
Для получения документов с грифом ДСП пользователь оформляет заявление… Правила оформления смотрите https://lib.tpu.ru/html/catalog-instructions в разделе "Электронный заказ документов"
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.