Высоковакуумное производство в микроэлектронной промышленности : пер. с англ. / П. Дюваль
Language: русский ; of original work, английский.Country: Россия.Publication: Москва : Мир, 1992Description: 263 с. : ил.ISBN: 5030020020.Bibliography: Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.)..Subject: электроника | микроэлектроника | интегральные схемы | производство | вакуум | применение | высоковакуумное оборудование | измерения | безопасность| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 93-585 | Available | 13821000361482 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 203-208 (125 назв.).
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.