Моделирование технологических процессов микроэлектроники / РАН, Физико-технологический ин-т; Под ред. Т. М. Махвиладзе
Language: русский.Country: Россия.Publication: Москва : Наука, 1992Description: 117 с. : ил.ISBN: 5020068675.Series: Труды ФТИАН, Т. 3Bibliography: Библиогр. в конце статей.Subject: электроника | интегральные микросхемы | производство | математические исследования | фотолитография | электронная литография | сухое травление | материалы | поверхности | импульсная обработка| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | 93-934 | Available | 13821000387968 |
Total holds: 0
Библиогр. в конце статей
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.