Вакуумно-плазменные процессы и технологии : учебное пособие для вузов / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, В. В. Рыбкин ; Ивановский государственный химико-технологический университет
Language: русский.Country: Россия.Publication: Иваново : Изд-во Ивановского хим.-технологич. ун-та, 2006Description: 260 с. : ил.ISBN: 5961601552.Abstract: Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях..Bibliography: Библиогр.: с. 258..Subject - Topical Name: Плазмохимические процессы Subject: плазма | химические свойства | физические свойства | электрический разряд | газовый разряд | монокристаллы | химическая технология | активные частицы | микроэлектроника | неорганические материалы | плазменная обработка | технологии | полимерные материалы | ионно-плазменные технологии | плазмохимические процессы | контроль | учебные пособия| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Учебный фонд | 66 Е924 | Available | 13821000503016 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Читальный зал технической литературы (309 НТБ) | 66 Е924 | Available | 13821000503014 | ||||||||||||||
| Books | НТБ ТПУ Читальный зал технической литературы (309 НТБ) | 66 Е924 | Available | 13821000503013 |
Библиогр.: с. 258.
Рассмотрены процессы образования активных веществ в плазме и их взаимодействие с поверхностью твердого тела, а также технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
There are no comments on this title.