Разработка и внедрение методик анализа фоторезистов и других объектов микроэлектроники : заключительный отчет о НИР : тема: х/д 5-23/80 / Томский политехнический институт (ТПИ) ; руководитель А. Г. Стромберг ; руководитель А. А. Каплин ; В. А. Колпаков
Language: русский.Country: Россия.Publication: Томск : 1981Description: 57 л.Bibliography: Библиогр.: с. 56-57..Subject: отчеты о НИР | инверсионная вольтамперометрия | анализ | полярографы | фоторезисты | чувствительность | труды учёных ТПУ | методика| Cover image | Item type | Current library | Home library | Collection | Shelving location | Call number | Materials specified | Vol info | URL | Copy number | Status | Notes | Date due | Barcode | Item holds | Item hold queue priority | Course reserves | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Books | НТБ ТПУ Научный фонд | Р-4272 | Available | 13821000410289 |
Total holds: 0
Библиогр.: с. 56-57.
There are no comments on this title.
Log in to your account to post a comment.